标准编号：GB/T 15909-2009
标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
英文名称：Gas for electronic industry—Silane
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
标准状态：作废
替代标准：GB/T 15909-1995
文件格式：PDF
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标准编号：GB/T 15909-2009
标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
英文名称：Gas for electronic industry—Silane
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
标准状态：作废
替代标准：GB/T 15909-1995
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