标准编号：GB/T 14146-2009
标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
英文名称：Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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