标准编号:GB/T 24468-2009
标准名称:半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
英文名称:Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2009-10-15
实施日期:2009-12-01
标准状态:现行
文件格式:PDF

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