标准编号：DIN 50453-1-1990
标准名称：半导体工艺材料的检验.蚀刻混合剂浸蚀率的测定.第1部分:单晶硅测重法
英文名称：Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method
发布部门：
发布日期：1990-10-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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