标准编号：NF X10-519-1975
标准名称：真空技术.涡轮分子泵.功能特性的测定
英文名称：(VACUUM TECHNOLOGY - METHODS OF MEASUREMENT OF THE PERFORMANCE CHARACTERISTICS OF TURBO-MOLECULAR PUMPS)
发布部门：
发布日期：1975-11-01
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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