标准编号：EN ISO 25178-603-2013
标准名称：产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第603部分:非接触(相移干涉计的显微检查)仪器标称特征(ISO 25178-603-2013).德文版本EN ISO 25178-603-2013
英文名称：Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013); German version EN ISO 25178-603:2013
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2014-02-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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