标准编号：EN ISO 14644-9-2008
标准名称：洁净室和相关控制环境. 第9部分:微粒浓度法进行表面洁净度分类 (ISO/DIS 14644-9-2008); 德文版本prEN ISO 14644-9-2008
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface particle cleanliness (ISO/DIS 14644-9:2008); German version prEN ISO 14644-9:2008
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2008-08-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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