标准编号：EN 62047-8-2011
标准名称：半导体设备.微机电设备.第8部分:薄膜拉伸性能测量用带弯曲试验方法(IEC 62047-8-2011).德文版 EN 62047-8-2011
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films (IEC 62047-8:2011); German version EN 62047-8:2011
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2011-12-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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