标准编号：EN 62047-21-2014
标准名称：半导体器件. 微型机电装置. 第21部分: 薄膜MEMS材料泊松比试验方法 (IEC 62047-21-2014); 德文版本EN 62047-21-2014
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014); German version EN 62047-21:2014
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2015-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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