标准编号：EN 62047-18-2013
标准名称：半导体器件. 微型机电装置. 第18部分:薄膜材料的弯曲试验方法 (IEC 62047-18-2013); 德文版本EN 62047-18-2013
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials (IEC 62047-18:2013); German version EN 62047-18:2013
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2014-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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