标准编号：EN 62047-12-2011
标准名称：半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯...
英文名称：
发布部门：
发布日期：
实施日期：
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：EN 62047-12-2011
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