标准编号：EN 62047-1-2006
标准名称：半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义(IEC 62047-1-2005)
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2006-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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