标准编号：BS EN 62047-11-2013
标准名称：半导体器件 微型机电装置 微型机电装置用无需支撑物材料线性热膨胀系数试验方法
英文名称：Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
发布部门：英国标准学会(BSI)
发布日期：
实施日期：2013-10-31
标准状态：现行
文件格式：PDF
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