标准编号：ASTM F1894-1998(2011)
标准名称：定量分析硅化钨半导体加工膜组分和厚度的标准试验方法
英文名称：Test Method for Quantifying Tungsten Silicide Semiconductor Process Films for Composition and Thickness
发布部门：美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期：
实施日期：1998-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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