标准编号：ASTM F1513-1999(2011)
标准名称：用于电子薄膜的纯铝(非合金)材料标准规范
英文名称：Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications
发布部门：美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期：
实施日期：1999-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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