标准编号：ASTM F1512-1994(2011)
标准名称：溅射目标垫板部件的超声波C扫描粘结评估的标准操作规程
英文名称：Standard Practice for Ultrasonic C-Scan Bond Evaluation of Sputtering Target-Backing Plate Assemblies
发布部门：美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期：
实施日期：1994-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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