标准编号：ASTM E986-2004(2010)
标准名称：扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
英文名称：Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
发布部门：美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期：
实施日期：2004-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：ASTM E986-2004(2010)
标准名称：扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
英文名称：Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization
发布部门：美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期：
实施日期：2004-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF