标准编号:ASTM E2088-2006(2011)
标准名称:测量清洁室和相关受控环境中粒子沉积物用选择,制备,暴露和分析参考表面的标准操作规程
英文名称:Standard Practice for Selecting,Preparing,Exposing,and Analyzing Witness Surfaces for Measuring Particle Deposition in Cleanrooms and Associated Controlled Environments
发布部门:美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期:
实施日期:2006-01-01
标准状态:现行
文件格式:PDF