标准编号:ASTM E1634-2011
标准名称:测量溅射坑深度的标准指南
英文名称:Standard Guide for Performing Sputter Crater Depth Measurements
发布部门:美国材料与试验协会(ASTM)
发布日期:
实施日期:2011-01-01
标准状态:现行
文件格式:PDF