标准编号：GB/T 41064-2021
标准名称：表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
英文名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy,Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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