标准编号：SJ 21441-2018
标准名称：SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范
英文名称：Specification for high purity semi-insulating silicon carbide monocrystalline wafers of SiC-HPSI
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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