标准编号：SJ 21315-2018
标准名称：旋涂及热板设备通用规范
英文名称：General specification for spin-coating and heat-drying platform
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：SJ 21315-2018
标准名称：旋涂及热板设备通用规范
英文名称：General specification for spin-coating and heat-drying platform
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF