标准编号：SJ 21536-2018
标准名称：微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片规范
英文名称：Specification of gallium arsenide epitaxial wafer for microwave power devices and monolithic microwave integrated circuits
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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