标准编号：SJ 21260-2018
标准名称：金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法
英文名称：Technological verification procedures for metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD)equipment
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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