标准编号：SJ/T 11761-2020
标准名称：200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
英文名称：Specifiction for tool load port used for wafer of less than or equal to 200 mm diameter
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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