标准编号：SJ/T 11763-2020
标准名称：半导体制造设备人机界面规范
英文名称：Specification for human interface for semiconductor manufacturing equipment
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：半导体制造设备人机界面规范
英文名称：Specification for human interface for semiconductor manufacturing equipment
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF