标准编号：T/CASAS 013-2021
标准名称：碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法
英文名称：Measuring method for testing the density of dislocation in SiC crystal Combined KOH etching and image recognition methods
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
发布日期：2021-11-01
实施日期：2021-12-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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