标准编号：GB/T 25915.12-2021
标准名称：洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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