标准编号:T/ZZB 2283-2021
标准名称:半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
英文名称:Ultra-high purity graphite powder for semiconductor silicon carbide crystal
发布部门:浙江省品牌建设联合会
发布日期:2021-08-26
实施日期:2021-09-26
标准状态:现行
文件格式:PDF

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