标准编号：GB/T 40110-2021
标准名称：表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
英文名称：Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2021-05-21
实施日期：2021-12-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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