标准编号：GB/T 14146-2021
标准名称：硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
英文名称：Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2021-05-21
实施日期：2021-12-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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