标准编号：T/ICMTIA SM006-2021
标准名称：集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
英文名称：
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2021-05-31
实施日期：2021-07-30
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
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发布日期：2021-05-31
实施日期：2021-07-30
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