标准编号：DB31/ 506-2020
标准名称：集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额
英文名称：The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits
发布部门：上海市市场监督管理局
发布日期：2020-09-25
实施日期：2020-12-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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