标准编号：SJ 21129-2016
标准名称：金属有机物化学气相淀积设备(MOCVD)通用规范
英文名称：General specification for metal organic chemical vapor deposition equipment
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：SJ 21129-2016
标准名称：金属有机物化学气相淀积设备(MOCVD)通用规范
英文名称：General specification for metal organic chemical vapor deposition equipment
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF