标准编号：SJ/T 11489-2015
标准名称：低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
英文名称：Test method for measuring etch pit density(EPD)in low dislocation density indium phosphide wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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