标准编号：JB/T 4081-2011
标准名称：真空技术 溅射离子泵
英文名称：Vacuum technology-Sputter-ion pumps
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：JB/T 4081-2011
标准名称：真空技术 溅射离子泵
英文名称：Vacuum technology-Sputter-ion pumps
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-04-01
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文件格式：PDF