标准编号：T/ICMTIA 5.2-2020
标准名称：集成电路用ArF浸没式光刻胶
英文名称：ArF immersion photo resist for integrated circuits
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2020-12-31
实施日期：2021-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理，若无意中侵犯到您的权利，敬请联系我们，我们将及时删除相关资源。
标准编号：T/ICMTIA 5.2-2020
标准名称：集成电路用ArF浸没式光刻胶
英文名称：ArF immersion photo resist for integrated circuits
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2020-12-31
实施日期：2021-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF