标准编号：T/ZSA 38-2020
标准名称：SiC晶片的残余应力检测方法
英文名称：Experimental method for residual stress in SiC wafers
发布部门：中关村标准化协会
发布日期：2020-12-17
实施日期：2020-12-18
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准编号：T/ZSA 38-2020
标准名称：SiC晶片的残余应力检测方法
英文名称：Experimental method for residual stress in SiC wafers
发布部门：中关村标准化协会
发布日期：2020-12-17
实施日期：2020-12-18
标准状态：现行
文件格式：PDF