标准编号：T/CESA 1081-2020
标准名称：半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
英文名称：Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing － Wafer
发布部门：中国电子工业标准化技术协会
发布日期：2020-06-20
实施日期：2020-06-20
标准状态：现行
文件格式：PDF
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