标准编号：T/ICMTIA 3-2020
标准名称：集成电路用六氯乙硅烷
英文名称：Hexachlorodisilane for integrated circuit
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2020-02-24
实施日期：2020-04-24
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：集成电路用六氯乙硅烷
英文名称：Hexachlorodisilane for integrated circuit
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2020-02-24
实施日期：2020-04-24
标准状态：现行
文件格式：PDF