标准编号：T/IAWBS 007-2018
标准名称：4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法
英文名称：Test method for thickness of 4H silicon carbide homo-epitaxial layers by infrared reflectance
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2018-12-06
实施日期：2018-12-17
标准状态：现行
文件格式：PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理，若无意中侵犯到您的权利，敬请联系我们，我们将及时删除相关资源。