标准编号：T/ZZB 0648-2018
标准名称：200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
英文名称：200 mm heavily phosphorus-doped single crystalline Czochralski silicon polished wafers
发布部门：浙江省品牌建设联合会
发布日期：2018-10-19
实施日期：2018-11-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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