标准编号：T/BSPT 002-2018
标准名称：微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法
英文名称：Micro/nano fabrication The fabrication of 3D nanostructures formed by strain via ion beam irradiation
发布部门：北京粉体技术协会
发布日期：2018-06-20
实施日期：2018-07-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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