标准编号：T/FSI 004-2016
标准名称：六甲基二硅氮烷
英文名称：Hexamethyl disilazane (HMDS)
发布部门：中国氟硅有机材料工业协会
发布日期：2017-04-10
实施日期：2017-06-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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标准名称：六甲基二硅氮烷
英文名称：Hexamethyl disilazane (HMDS)
发布部门：中国氟硅有机材料工业协会
发布日期：2017-04-10
实施日期：2017-06-01
标准状态：现行
文件格式：PDF