标准编号：GB/T 19444-2004
标准名称：硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法
英文名称：Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布日期：2004-02-05
实施日期：2004-07-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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