标准编号：YS/T 1164-2016
标准名称：硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
英文名称：Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material. Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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