标准编号：YS/T 23-2016
标准名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers-Stacking fault size
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理，若无意中侵犯到您的权利，敬请联系我们，我们将及时删除相关资源。
标准编号：YS/T 23-2016
标准名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers-Stacking fault size
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
标准状态：现行
文件格式：PDF