标准编号：YS/T 1060-2015
标准名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
英文名称：Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy-Gas chromatographic method
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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