标准编号：YS/T 983-2014
标准名称：多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
英文名称：Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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