T/SZZXH 5-2025 半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范

本文件规定了半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门的制造要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于PFA阀门的制造与检验。
标准编号：T/SZZXH 5-2025
标准名称：半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范
英文名称：Technical specification for perfluoroalkoxy valves for semiconductor manufacturing
发布部门：深圳市战略性新兴产业发展促进会
发布日期：2025-05-30
实施日期：2025-06-01
标准状态：现行/即将实施
起草单位：科讯工业制造(深圳)有限公司、东莞市富强高分子材料有限公司、深圳市恩欣龙特种材料股份有限公司、深圳市维普利精密制造有限公司、金华永和氟化工有限公司、宁波联大塑料管件有限公司、深圳市战略性新兴产业发展促进会
起草人员：张生洲、张青松、俞诗琳、方锐玲、唐耀卫、刘福华、徐潇宇、徐路、孙向军、姚潺、童森荣、陈思思、陈小丽
文件格式：PDF
文件页数：12页
文件大小：398.49KB

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2025-5-30 18:33 上传

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